嵌入式膜厚檢測儀

產(chǎn)品簡介
● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（專zhuan利第4834847號）

● 使用光學光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)

● 可嵌入至各種制造設備。

● 實時測量膜厚

● 可對應遠程操作、多點測量

● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-06-24

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：477

產(chǎn)品咨詢 18117546256

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

光譜系統(tǒng)

顯微缺陷膜厚半導體晶圓缺陷檢測儀高光譜測試系統(tǒng) 瞬態(tài)吸收系統(tǒng) 太陽能電池量子效率太陽光模擬器IV系統(tǒng) 顯微光電流成像系統(tǒng) 探測器光響應度系統(tǒng) 光譜變溫附件探針臺拉曼SERS增強試劑顯微熒光系統(tǒng) 組合熒光系統(tǒng) 鏡頭透過率測試系統(tǒng) 漫反射率測試系統(tǒng) 反射、吸收率系統(tǒng) 成像亮度計標準燈參考輻射定標電致發(fā)光系統(tǒng) 常規(guī)發(fā)射光譜系統(tǒng) 共聚焦拉曼光譜儀

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產(chǎn)品信息

測量項目

多層膜厚解析

用　途

光學薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）

FPD相關(guān)（光刻膠、SOI、SiO2等）

設備構(gòu)成

單點型

嵌入式膜厚檢測儀

半導體晶圓的面內(nèi)分布測量

玻璃基板的面內(nèi)分布測量

多點型

嵌入式膜厚檢測儀

實時測量

流向品質(zhì)管理

真空室適用

導線型

嵌入式膜厚檢測儀

實時測量

寬度方向品質(zhì)管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

嵌入式膜厚檢測儀

上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展，上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。

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