OPTM series 嵌入型

產品簡介
利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點，在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測量等膜厚信息。

產品型號：

更新時間：2025-06-24

廠商性質：生產廠家

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

光譜系統(tǒng)

顯微缺陷膜厚半導體晶圓缺陷檢測儀高光譜測試系統(tǒng) 瞬態(tài)吸收系統(tǒng) 太陽能電池量子效率太陽光模擬器IV系統(tǒng) 顯微光電流成像系統(tǒng) 探測器光響應度系統(tǒng) 光譜變溫附件探針臺拉曼SERS增強試劑顯微熒光系統(tǒng) 組合熒光系統(tǒng) 鏡頭透過率測試系統(tǒng) 漫反射率測試系統(tǒng) 反射、吸收率系統(tǒng) 成像亮度計標準燈參考輻射定標電致發(fā)光系統(tǒng) 常規(guī)發(fā)射光譜系統(tǒng) 共聚焦拉曼光譜儀

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產品信息

特　點

●膜厚測量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）

●膜厚值高重復精度

●1點1秒以內的高速測量

●最小小點Φ3μm）中瞄準模式

●最zui適shi合圖案晶片的膜厚映射

●能夠取得圖案對準用圖像

裝置組裝示意圖

OPTM series 嵌入型

測量數(shù)據(jù)示意圖

OPTM series 嵌入型

測量光點周邊圖像

OPTM series 嵌入型

適應過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝等

式樣

OPTM series 嵌入型

上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經過多年的發(fā)展，上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產品和服務在行業(yè)內具有較高的知zhi名度和美譽度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。

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